部件业务

硅 & 陶瓷

KNJ 提供基于硅和陶瓷的多种关键部件,如硅、石英、氧化铝等。

硅陶瓷元件

KNJ 提供基于硅和陶瓷的多种关键部件,如硅、石英、氧化铝等,这些高性能材料在不同工艺环境中表现优异,提高了半导体制造的稳定性和效益 这些部件在高温、高纯度和耐化学性方面对半导体工艺的可靠性起重要作用。

产品种类

  • 01
    KNJ 正在开发用于半导体制造的高性能硅产品,主要产品是硅电极和 Si Focus Ring,这些部件在工艺中确保精度和稳定性至关重要, 硅产品具备优异的电气特性和高温耐性,即使在严酷环境中也表现出色。 利用积累的技术,提供高品质硅产品,以满足半导体产业的多种需求
  • 02
    石英
    石英具有高纯度、耐热性、化学稳定性和紫外线透过性,适用于半导体工艺中的CVD工艺部件和漏光装置 及腐蚀性环境。
  • 03
    氧化铝
    氧化铝具有较高的耐热性和耐磨性,适用于半导体制造中的高温高压环境,能在蚀刻和等离子工艺中提供强度和耐久性,并且耐化学性优良,可广泛应用于多种工艺。

联系方式

  • Contact Person
    LEE CHANG MIN 总负责
  • Tel
    070-7201-8963
  • Email
    changmin.lee@knj.kr